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本发明公开了一种双向TVS二极管结构,从下至上依次设置有集电极层,N‑外延层,P+注入区,N+注入区,氧化层,AL层,SiN层,其中所述N‑外延层位于所述集电极层上,所述P+注入区位于所述N‑外延层中,所述N+注入区有两层,均位于所述P+注...该专利属于江苏新顺微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏新顺微电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种双向TVS二极管结构,从下至上依次设置有集电极层,N‑外延层,P+注入区,N+注入区,氧化层,AL层,SiN层,其中所述N‑外延层位于所述集电极层上,所述P+注入区位于所述N‑外延层中,所述N+注入区有两层,均位于所述P+注...