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本发明提供一种对在表面上具有图案的基板进行检查的检查装置，该检查装置具有分类部(303)和输出部(304)。分类部(303)利用通过机器学习创建的已学习模型，按照缺陷以及虚报的种类对由针对拍摄基板而得到的被检查图像进行的一次检查而检测出的缺...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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