【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检查在表面上具有图案的基板的技术。[相关申请的参照]本申请主张2023年3月17日申请的日本专利申请jp2023-043507的优先权，并将该申请的全部内容援引入本申请。
技术介绍
1、以往，在印刷布线基板的检查中，利用检查装置检查印刷布线基板的各区域的图像，提取被判断为具有缺陷的图像。然后，进行操作者通过目视来确认与被提取的图像对应的印刷布线基板上的区域的缺陷确认作业(所谓的验证作业)。在由检查装置提取的缺陷中，包括成为品质上问题的可能性高的真缺陷和实质上没有成为品质上问题的可能性的虚报，在上述的缺陷确认作业中，操作者通过目视从由检查装置提取出的缺陷中提取真缺陷。
2、另外，在日本特开2021-177154号公报(专利文献1)中提出了一种外观检查系统，该外观检查系统具有：一次检查部，基于拍摄对象物得到的图像，不使用机器学习而进行不合格判定；二次检查部，使用机器学习模型来区分真的不合格品和过度判定品(即，通过过度检测判定为不合格的合格品)。由此，在外观检查中仅检测真的不合格品，抑制将过度判定品检测为不合格品，从而实现生产率的提高。
3、但是，在专利文献1的外观检查系统中，在由二次检查部判断为过度判定品的对象物较多的情况下，有可能在外观检查之前进行的工序中发生某种轻度异常或应该改善的现象。然而，在该外观检查系统中，被判断为过度判定品的对象物一并作为合格品处理，因此，操作者没有机会注意到上述轻度异常、改善点，也不会将该轻度异常、改善点反馈给前工序。
技术实现思路>
1、本专利技术涉及一种检查在表面上具有图案的基板的检查装置，目的在于，将缺陷以及虚报的分类结果反馈给前工序。
2、本专利技术的方式1的检查装置，对在表面上具有图案的基板进行检查，其中，具有：分类部，利用通过机器学习创建的已学习模型，按照缺陷以及虚报的种类，对由针对拍摄基板而得到的被检查图像进行的一次检查而检测出的缺陷候补进行分类；以及输出部，输出基于所述分类部的分类结果。
3、根据本专利技术，能够将缺陷以及虚报的分类结果反馈给前工序。
4、本专利技术的方式2，在根据方式1的检查装置中，所述检查装置还具有第一检查部，所述第一检查部对所述被检查图像进行所述一次检查。
5、本专利技术的方式3，在根据方式1或2的检查装置中，所述分类部基于所述缺陷候补相对于复数个缺陷种类以及复数个虚报种类中的每一个的适合度，将所述缺陷候补按照缺陷以及虚报的种类进行分类。
6、本专利技术的方式4，在根据方式1或2的检查装置中，所述分类部具有：第二检查部，对所述缺陷候补进行利用了通过机器学习创建的已学习模型的二次检查，将所述缺陷候补分类为缺陷或虚报；缺陷分类部，利用通过机器学习创建的已学习模型，按照缺陷种类对由所述第二检查部分类后的缺陷进行分类；以及虚报分类部，利用通过机器学习创建的已学习模型，按照虚报种类对由所述第二检查部分类后的虚报进行分类。
7、本专利技术的方式5，在根据方式4的检查装置中，所述缺陷分类部基于由所述第二检查部分类后的所述缺陷的、相对于复数个缺陷种类中的每一个的适合度，按照缺陷种类对所述缺陷进行分类。所述虚报分类部基于由所述第二检查部分类后的所述虚报的、相对于复数个虚报种类中的每一个的适合度，按照虚报种类对所述虚报进行分类。
8、本专利技术的方式6，在根据方式5的检查装置中，在由所述第二检查部分类后的所述虚报的相对于所述复数个虚报种类中的每一个的适合度小于规定的阈值的情况下，所述虚报分类部将所述虚报分类为合格品。
9、本专利技术的方式7，在根据方式1或2(也可以根据方式1至6中任一项)的检查装置中，所述检查装置还具有警报部，所述警报部在所述分类结果中被分类为一个虚报种类的虚报的数量为规定数量以上的情况下发出警报。
10、本专利技术的方式8，在根据方式1或2(也可以根据方式1至7中任一项)的检查装置中，所述缺陷候补与在所述一次检查中使用的复数个检查逻辑中的检测到所述缺陷候补的检查逻辑建立关联。所述检查装置还具有警报部，所述警报部在所述分类结果中与一个检查逻辑建立关联的虚报的数量为规定数量以上的情况下发出警报。
11、本专利技术的方式9的检查方法，对在表面上具有图案的基板进行检查，其中，包括：a)工序，利用通过机器学习创建的已学习模型，按照缺陷以及虚报的种类，对由针对拍摄基板而得到的被检查图像进行的一次检查而检测出的缺陷候补进行分类；以及b)工序，输出所述a)工序中的分类结果。
12、本专利技术的方式10的存储介质，存储有对在表面上具有图案的基板进行检查的程序，其中，通过由计算机执行所述程序，进行以下工序：a)工序，利用通过机器学习创建的已学习模型，按照缺陷以及虚报的种类，对由针对拍摄基板而得到的被检查图像进行的一次检查而检测出的缺陷候补进行分类；以及b)工序，输出所述a)工序中的分类结果。
13、通过参照附图而如下进行的本专利技术的详细说明，使得上述的目的以及其他目的、特征、方式以及优点更加明确。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种检查装置，对在表面上具有图案的基板进行检查，其中，
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，
4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，
5.根据权利要求4所述的检查装置，其中，
6.根据权利要求5所述的检查装置，其中，
7.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，
8.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，
9.一种检查方法，对在表面上具有图案的基板进行检查，其中，
10.一种存储介质，存储有对在表面上具有图案的基板进行检查的程序，其中，
【技术特征摘要】
1.一种检查装置，对在表面上具有图案的基板进行检查，其中，
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，
4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，
5.根据权利要求4所述的检查装置，其中，
6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：海津正博，杉山胜彦，泷本达也，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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