检查装置、检查方法、以及存储有程序的存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种对在表面上具有图案的基板进行检查的检查装置，该检查装置具有分类部(303)和输出部(304)。分类部(303)利用通过机器学习创建的已学习模型，按照缺陷以及虚报的种类对由针对拍摄基板而得到的被检查图像进行的一次检查而检测出的缺陷候补进行分类。输出部(304)输出基于分类部(303)的分类结果。由此，能够将缺陷以及虚报的分类结果反馈给前工序(例如，基板的制造工序、一次检查工序等)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检查在表面上具有图案的基板的技术。[相关申请的参照]本申请主张2023年3月17日申请的日本专利申请jp2023-043507的优先权，并将该申请的全部内容援引入本申请。

技术介绍

1、以往，在印刷布线基板的检查中，利用检查装置检查印刷布线基板的各区域的图像，提取被判断为具有缺陷的图像。然后，进行操作者通过目视来确认与被提取的图像对应的印刷布线基板上的区域的缺陷确认作业(所谓的验证作业)。在由检查装置提取的缺陷中，包括成为品质上问题的可能性高的真缺陷和实质上没有成为品质上问题的可能性的虚报，在上述的缺陷确认作业中，操作者通过目视从由检查装置提取出的缺陷中提取真缺陷。

2、另外，在日本特开2021-177154号公报(专利文献1)中提出了一种外观检查系统，该外观检查系统具有：一次检查部，基于拍摄对象物得到的图像，不使用机器学习而进行不合格判定；二次检查部，使用机器学习模型来区分真的不合格品和过度判定品(即，通过过度检测判定为不合格的合格品)。由此，在外观检查中仅检测真的不合格品，抑制将过度判定品检测为不合格品，从而实现生产率的提高。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种检查装置，对在表面上具有图案的基板进行检查，其中，

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，

5.根据权利要求4所述的检查装置，其中，

6.根据权利要求5所述的检查装置，其中，

7.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，

8.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，

9.一种检查方法，对在表面上具有图案的基板进行检查，其中，

10.一种存储介质，存储有对在表面上具有图案的基板进行检...

【技术特征摘要】

1.一种检查装置，对在表面上具有图案的基板进行检查，其中，

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，

5.根据权利要求4所述的检查装置，其中，

6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：海津正博，杉山胜彦，泷本达也，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：