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公开了用于沉积超薄膜的方法。本公开内容的一些实施方式利用超薄膜作为阻挡层、衬垫层或成核层以减小互连电阻。一些实施方式有利地提供了厚度小于或等于约的连续膜。一些实施方式有利地提供了粗糙度减小的膜。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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