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本发明提供一种向基板照射光并描绘图案的描绘装置，在本发明的描绘装置(1)的描绘头罩(5)中，供气口(53)设置于在水平方向上与投影光学系统(45)相向的位置。另外，从供气部(6)向描绘头罩(5)的内部供给的气体通过供气口(53)。排气口(5...
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