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本申请提供一种传送晶圆的机械手抓手、真空机械手及机械手抓手制造方法，应用于半导体制造设备技术领域，包括位于真空机械手近端的连接部和远端的抓手部，抓手部包括第一指部、第二指部和凹槽，其特征在于：连接部的一端与真空机械手连接；抓手部开设有凹槽，...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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