下载表面活性剂、显影液及其应用和制备方法、半导体器件的技术资料

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本申请涉及一种表面活性剂、显影液及其应用和制备方法,其中表面活性剂包括:10份至500份的聚氧乙烯油醚、1份至100份的仲醇聚氧乙烯醚。本申请的有益效果在于提供了一种既能改善显影液的浸润性能又能有效抑制气泡产生的表面活性剂、显影液及其应用和...
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