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表面活性剂、显影液及其应用和制备方法、半导体器件技术
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文档序号:42787127
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本申请涉及一种表面活性剂、显影液及其应用和制备方法,其中表面活性剂包括:10份至500份的聚氧乙烯油醚、1份至100份的仲醇聚氧乙烯醚。本申请的有益效果在于提供了一种既能改善显影液的浸润性能又能有效抑制气泡产生的表面活性剂、显影液及其应用和...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。
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