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一种半导体结构包括:第一晶体管,包含从基板突出的第一鳍片和设置在第一鳍片上方的第一栅极结构;第二晶体管,包含从基板突出并经由第一隔离特征与第一鳍片分隔的第二鳍片、和设置在第二鳍片上方的第二栅极结构;以及第一介电质特征其与第一和第二栅极结构直...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构包括:第一晶体管,包含从基板突出的第一鳍片和设置在第一鳍片上方的第一栅极结构;第二晶体管,包含从基板突出并经由第一隔离特征与第一鳍片分隔的第二鳍片、和设置在第二鳍片上方的第二栅极结构;以及第一介电质特征其与第一和第二栅极结构直...