下载一种晶圆级铁磁金属有机薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:42771390

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆级铁磁金属有机薄膜及其制备方法,属于碳金属有机薄膜制备领域,所述方法包括如下步骤:利用低压化学气相沉积(LPCVD)方法,以金属酞菁作为分子前驱体,铜箔作为生长基底,在氢氩混合气氛围中进行加热反应,生长完成后快速降温;制...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。