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本发明公开了一种样品转移装置及TEM样品的制备方法,涉及微纳加工领域,该装置包括控制模块、驱动模块、移动模块、转轴、样品台、夹具台及基础夹具,基础夹具设于转轴上用于固定rowbar夹具,rowbar夹具用于固定半分铜载网以使各铜柱沿轴心方向...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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