一种样品转移装置及TEM样品的制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种样品转移装置及TEM样品的制备方法，涉及微纳加工领域，该装置包括控制模块、驱动模块、移动模块、转轴、样品台、夹具台及基础夹具，基础夹具设于转轴上用于固定rowbar夹具，rowbar夹具用于固定半分铜载网以使各铜柱沿轴心方向依次排布，驱动模块驱动转轴调节至初始0度位，移动模块将第一薄片沿竖直方向从原始样品上提取并将该第一薄片转移至处于初始0度位的半分铜载网处，驱动模块驱动转轴调节至使第二薄片的待加工面与芯片平行的90度位，移动模块将第二薄片转移至芯片上的指定位置以便焊接。该方案可靠地实现了样品平行焊接至芯片的指定位置，且根据实际需求同样可灵活适用于芯片与样品间多种角度焊接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微纳加工，具体而言，涉及一种样品转移装置及tem样品的制备方法。

技术介绍

1、fib(foucus ion beam，聚焦离子束)是一种新型微纳加工技术，广泛应用于显微制样、微纳图形刻蚀等方面，其原理是由ga离子源发射出来的ga离子束，在加速电压作用下经过静电透镜会聚成纳米级大小的离子束聚焦在样品表面，高能的离子束与材料原子发生碰撞而产生溅射作用，使材料物质被溅射掉，从而达到刻蚀加工的作用。

2、fib制样相较于传统的机械制样方法，一方面加工时间短且重复性好，另一方面可以实现定点制样，直接提取所需样品区域，对于一些质地柔软、硬度高、易氧化的样品甚至是界面样品都非常适用，目前已应用于tem样品(transmission electron microscope，透射电子显微镜)的制备，相较于其他tem制样手段，采用fib制备tem样品可以精确地定位感兴趣区域，从而实现纳米区域的定点加工。

3、透射电镜原位技术就是通过在透射电镜中对样品施加如力场、热场及电场等各类作用，从而获得样品在外场作用下动态行为的表征技术，该技术为从本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种样品转移装置，其特征在于，应用于FIB腔体，所述样品转移装置包括设于所述FIB腔体外的控制模块(2)以及设于所述FIB腔体内的驱动模块(3)、移动模块、转轴(4)、样品台(5)、夹具台(6)及基础夹具(7)；

2.如权利要求1所述的样品转移装置，其特征在于，所述驱动模块(3)包括电动旋转马达(31)、第一轴承(33)、第二轴承(34)及变速齿轮(32)；

3.如权利要求2所述的样品转移装置，其特征在于，所述FIB腔体的外壳上还设有用于连通所述FIB腔体的外部与密封的所述FIB腔体的内部的通电法兰(9)；

4.如权利要求2所述的样品转移装置，其特...

【技术特征摘要】

1.一种样品转移装置，其特征在于，应用于fib腔体，所述样品转移装置包括设于所述fib腔体外的控制模块(2)以及设于所述fib腔体内的驱动模块(3)、移动模块、转轴(4)、样品台(5)、夹具台(6)及基础夹具(7)；

2.如权利要求1所述的样品转移装置，其特征在于，所述驱动模块(3)包括电动旋转马达(31)、第一轴承(33)、第二轴承(34)及变速齿轮(32)；

3.如权利要求2所述的样品转移装置，其特征在于，所述fib腔体的外壳上还设有用于连通所述fib腔体的外部与密封的所述fib腔体的内部的通电法兰(9)；

4.如权利要求2所述的样品转移装置，其特征在于，所述第一轴承(33)及所述第二轴承(34)为氧化锆陶瓷轴承或者不锈钢金属轴承。

5.如权利要求1所述的样品转移装置，其特征在于，所述夹具台(6)与所述样品台(5)均位于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蕾，柯培玲，沈圣成，陈国新，崔俊峰，段北晨，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
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