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本技术公开了一种可调式气体喷头,包括连接导管和第一喷头壳体,所述第一喷头壳体的底部开设有多组第一出气孔和多组第二出气孔,所述第一喷头壳体通过转动组件与连接导管相连接,所述第一喷头壳体内设有第二喷头壳体,且第二喷头壳体与连接导管相固定,所述第...该专利属于无锡金源半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡金源半导体科技有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种可调式气体喷头,包括连接导管和第一喷头壳体,所述第一喷头壳体的底部开设有多组第一出气孔和多组第二出气孔,所述第一喷头壳体通过转动组件与连接导管相连接,所述第一喷头壳体内设有第二喷头壳体,且第二喷头壳体与连接导管相固定,所述第...