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半导体装置及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:4269836
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本发明可使具有WPP技术的再配线的半导体装置的可靠性提高。再配线在半导体 基板1S的面内具有彼此电性分离的本体图案2及虚设图案3。将与多层配线电性连接的 本体图案2及浮动的虚设图案3设置成混合存在于半导体基板1S的面内。半导体基板 1S的面...
该专利属于株式会社瑞萨科技所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社瑞萨科技授权不得商用。
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