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本揭露案的实施方式大体涉及复合PVD靶材。该靶材具有直径；连接面；相对于连接面的基板面；厚度，介于连接面及基板面之间；及材料分布。该材料分布包括布置在图案中的含硅材料，及布置在图案中的含钛材料。该材料分布在沿着厚度的任何点处为均匀的。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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