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本说明书实施例提供了一种半导体设备的清洗方法，在针对清洗工艺中，可以避免由于读数波动而导致的清洗工艺的误判，即避免了以气体检测装置的检测值作为判断清洗工艺的进程而可能导致的由于读数波动而提前结束清洗工艺的情况；而变化率可以较好地表征排出气体...
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