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本发明涉及一种制备图形化蓝宝石复合衬底的方法，该方法包括：使用激光雕刻出具有图形结构的硅片母模板，在所述硅片母模板上复刻出具有所述图形结构的软模板；在蓝宝石衬底的表面沉积SiO<subgt;2</subgt;薄膜层，得到蓝宝石复...
该专利属于浙江丽晖智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江丽晖智能装备有限公司授权不得商用。

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