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本申请实施例公开了一种MEMS压电谐振器，该MEMS压电谐振器包括衬底和器件层。其中，衬底具有第一空腔；器件层设置于衬底上，器件层包括耦合结构、能量传递结构、连接杆、至少一对锚点和至少一对谐振体，谐振体通过能量传递结构与耦合结构连接，锚点通...
该专利属于麦斯塔微电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯塔微电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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