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晶片磨削方法技术
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文档序号:4267048
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本发明提供一种晶片磨削方法,其在利用精磨构件对经粗磨构件磨削过的晶片进行磨削时,能够使对晶片的所谓锋利性良好,从而防止面烧伤的发生。上述晶片磨削方法包括以下工序:晶片保持工序,将晶片保持在具有圆锥状保持面的卡盘工作台的该保持面上;粗磨工序,...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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