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本发明公开了一种导电吸附膜，其特征在于，包括：柔性基体，可发生形变，用于吸附物体；一个或多个导电单元，以使得导电吸附膜的至少部分具有导电性。本发明还公开了一种抛光头。本发明抛光头中与晶圆/衬底/基板接触的导电吸附膜同时具有较好的柔性和导电性...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。

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