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本发明涉及一种用于硅片加工的三码合一平台及其控制方法，所属硅片加工技术领域，包括SMIF片盒，所述的SMIF片盒下端设有底座，所述的底座上设有显示屏，所述的显示屏与底座间设有支撑杆，所述的支撑杆对显示屏实现支撑和电路信号连通的功能，所述的支...
该专利属于浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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