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本发明公开的等离子体处理装置中，高频电源在电偏置能量的偏置周期内调节高频电功率的频率。高频电源使用基本时间序列作为偏置周期内的高频电功率的频率的时间序列。高频电源以基于评价值改善匹配状态的方式，反复进行作为偏置周期内的高频电功率的频率的时间...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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