下载一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置的技术资料

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本发明公开了一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置,涉及半导体部件除污装置技术领域,该基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置,包括固定架,固定架的一侧表面转动连接有转轴,转轴以固定架的竖直中心线为参照呈对称设置,转轴的外表面传动连接有输送带...
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