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一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置制造方法及图纸
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下载一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置的技术资料
文档序号:42648337
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本发明公开了一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置,涉及半导体部件除污装置技术领域,该基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置,包括固定架,固定架的一侧表面转动连接有转轴,转轴以固定架的竖直中心线为参照呈对称设置,转轴的外表面传动连接有输送带...
该专利属于江西万年芯微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西万年芯微电子有限公司授权不得商用。
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