【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体部件除污装置，具体为一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置。
技术介绍
1、半导体部件是指用于制造半导体器件的关键组成部分，包括芯片、晶圆、晶体管、集成电路等，半导体部件在电子器件中起着重要的作用，是电流的控制和信号的处理的基础，在现代电子技术中，半导体部件广泛应用于计算机、手机、电视、通信设备等各种电子产品中，随着科技的不断进步，半导体部件的性能和集成度也在不断提高，促进了电子技术的快速发展。
2、半导体部件在使用的过程中，其表面的污染物如尘埃、油脂、水分等，会降低器件的性能和可靠性，这些污染物导致电子器件的电性能下降，信号传输受阻，甚至引起电路短路、断路等故障，因此，为了避免这些问题，通常会使用半导体部件除污装置，对半导体部件表面污垢和杂质进行去除。
3、但现有的半导体部件除污装置在使用的过程中会出现以下问题：
4、半导体部件除污装置的工作原理：是利用高纯度的气体喷射到半导体部件表面，通过气流的力量将污垢和杂质带走，从而实现清洗和除污的目的，但现有的半导体部件除污装置的气体喷...
【技术保护点】
1.一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，包括固定架(1)，所述固定架(1)的一侧表面转动连接有转轴(2)，所述转轴(2)以固定架(1)的竖直中心线为参照呈对称设置，所述转轴(2)的外表面传动连接有输送带(3)，其特征在于，所述输送带(3)靠近固定架(1)的一侧表面均匀固定连接有凸块(4)，所述固定架(1)远离转轴(2)一侧的表面固定连接有电机(5)，所述电机(5)的输出轴端贯穿固定架(1)且延伸至固定架(1)靠近转轴(2)的一侧，所述电机(5)输出轴延伸至转轴(2)的一端固定连接有连杆一(6)，所述连杆一(6)远离电机(5)的一端转动连接有连杆二(7)，所述固定...
【技术特征摘要】
1.一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，包括固定架(1)，所述固定架(1)的一侧表面转动连接有转轴(2)，所述转轴(2)以固定架(1)的竖直中心线为参照呈对称设置，所述转轴(2)的外表面传动连接有输送带(3)，其特征在于，所述输送带(3)靠近固定架(1)的一侧表面均匀固定连接有凸块(4)，所述固定架(1)远离转轴(2)一侧的表面固定连接有电机(5)，所述电机(5)的输出轴端贯穿固定架(1)且延伸至固定架(1)靠近转轴(2)的一侧，所述电机(5)输出轴延伸至转轴(2)的一端固定连接有连杆一(6)，所述连杆一(6)远离电机(5)的一端转动连接有连杆二(7)，所述固定架(1)靠近转轴(2)的一侧表面开设有滑槽一(8)，所述滑槽一(8)内部滑动连接有滑块(9)，所述滑块(9)与连杆二(7)远离连杆一(6)的一端转动连接，所述滑块(9)靠近输送带(3)的一侧表面转动连接有推杆(10)，所述滑块(9)靠近输送带(3)的一侧表面固定连接有挡柱(11)。
2.根据权利要求1所述的一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，其特征在于：所述推杆(10)和凸块(4)位于同一竖直切面，且推杆(10)能够与凸块(4)卡接。
3.根据权利要求1所述的一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，其特征在于：所述输送带(3)的上表面均匀固定连接有固定环(12)，所述固定环(12)均设置为伸缩结构，所述固定环(12)的内部均固定连接有弹簧一(13)，所述固定环(12)的上表面均固定连接有固定座(14)，所述弹簧一(13)的顶端均与固定座(14)固定连接，所述固定座(14)的内部均开设有滑槽二(15)，所述滑槽二(15)的内部均滑动连接有固定板(16)，所述固定板(16)的顶端均延伸至固定座(14)上方，所述固定板(16)的一侧表面均固定连接有弹簧二(17)，所述弹簧二(17)远离固定板(16)的一端均与滑槽二(15)的内壁固定连接，所述固定板(16)和弹簧二(17)均以固定座(14)的竖直中心线为参照呈对称设置，所述固定座(14)的上表面均开设有放置槽(18)，所述固定板(16)延伸至固定座(14)上方的一端滑动连接于放置槽(18)内...
【专利技术属性】
技术研发人员：艾育林，吴昊如，王雨静，陆寅鹏，朱锦辉，
申请(专利权)人：江西万年芯微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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