温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种采用倾斜晶圆台和倾斜转塔对晶圆片分选的系统和工艺，所述系统包括第一晶圆台，用于容纳具有所述数量的第一晶圆架，并且所述第一晶圆台相对于水平面以第一角度倾斜；第二晶圆台可接受若干晶粒并与水平面平行放置；所述转塔位于所述第一晶圆台和第二晶圆台...
该专利属于砺铸智能设备（天津）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过砺铸智能设备（天津）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。