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本发明涉及一种电光调制器及其光芯片、光模块和光通信系统，包括：提供一基底；位于所述基底一侧的绝缘层；位于所述绝缘层中的调制光路；所述调制光路包括输入电极部分和电光调制部分。本发明完美解决现有TFLN调制器单端驱动的技术难点，能够实现更小尺寸...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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