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本发明涉及基板处理装置。提供能够提高抗震性的技术。本公开的一技术方案的基板处理装置具备：旋转台，其固定于旋转轴；基板保持件，其载置在所述旋转台上，将基板以水平姿势保持为多层；以及第1紧固构件，其将所述基板保持件固定在所述旋转台上，所述基板保...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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