基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板处理装置。提供能够提高抗震性的技术。本公开的一技术方案的基板处理装置具备：旋转台，其固定于旋转轴；基板保持件，其载置在所述旋转台上，将基板以水平姿势保持为多层；以及第1紧固构件，其将所述基板保持件固定在所述旋转台上，所述基板保持件具有载置在所述旋转台上的底板，所述第1紧固构件从上下方向夹着所述旋转台和所述底板，而将所述基板保持件固定在所述旋转台上。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及基板处理装置。

技术介绍

1、已知有以下技术：在批量式的基板处理装置中，利用石英制的压板和金属制的基板保持件承接台来夹持对基板进行保持的基板保持件的底板，从而防止基板保持件的倾倒(例如，参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2009－99608号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、本公开提供能够提高抗震性的技术。

3、用于解决问题的方案

4、本公开的一技术方案的基板处理装置具备：旋转台，其固定于旋转轴；基板保持件，其载置在所述旋转台上，将基板以水平姿势保持为多层；以及第1紧固构件，其将所述基板保持件固定在所述旋转台上，所述基板保持件具有载置在所述旋转台上的底板，所述第1紧固构件从上下方向夹着所述旋转台和所述底板，而将所述基板保持件固定在所述旋转台上。

5、专利技术的效果

6、根据本公开，能够提高抗震性。

【技术保护点】

1.一种基板处理装置，其中，

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，

5.根据权利要求2～4中任一项所述的基板处理装置，其中，

6.根据权利要求2～4中任一项所述的基板处理装置，其中，

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

8.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其中，

10.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

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【技术特征摘要】

1.一种基板处理装置，其中，

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，

5.根据权利要求2～4中任一项所述的基板处理装置，其中，

6.根据权利要求2～4中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：永田朋幸，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：