下载复合金属薄膜及其制备方法和包含其的金属化膜电容器的技术资料

文档序号:42633720

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本发明公开了复合金属薄膜及其制备方法和包含其的金属化膜电容器。该复合金属薄膜的制备方法包括如下步骤:通过蒸镀法在基膜上形成渐变方阻层,并在所述基膜上形成留边;然后通过蒸镀法在所述渐变方阻层上形成填充层,使所述填充层的外表面与所述基膜的表面平...
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