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本技术涉及一种晶圆检测装置及晶圆装载设备，晶圆检测装置包括第一支架、第二支架、对射光纤、驱动件及凸轮结构，第二支架设置于第一支架并能够相对于第一支架绕预设轴线转动；对射光纤设置于第二支架；驱动件设置于第一支架及第二支架中的一者；凸轮结构包括...
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