下载一种半导体结构及其形成方法的技术资料

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本公开提供了一种半导体结构及其形成方法,所述方法包括:提供基底,所述基底包括衬底和形成在所述衬底内的位线结构;所述位线结构沿第一方向延伸且沿第二方向排布;在所述位线结构上形成字线结构和有源结构;所述有源结构沿所述衬底的厚度方向延伸,且所述有...
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