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一种MEMS结构和制造MEMS结构的方法。该MEMS结构包括机械层，该机械层平行于参考装置平面延伸。机械层被图案化成包括静态电极和可移动电极，该可移动电极能够相对于静态电极平行于参考装置平面移动。静态电极和可移动电极连接以形成电容器，其中，...
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