MEMS结构和制造MEMS结构的方法技术

一种MEMS结构和制造MEMS结构的方法。该MEMS结构包括机械层，该机械层平行于参考装置平面延伸。机械层被图案化成包括静态电极和可移动电极，该可移动电极能够相对于静态电极平行于参考装置平面移动。静态电极和可移动电极连接以形成电容器，其中，电容器的电容根据静态电极和可移动电极的交叠而改变。机械层包括第一硅层和第二硅层。第二硅层和第一硅层的部分彼此直接键合。可移动电极位于第一硅层中，而静态电极位于第二硅层中。可移动电极通过第一硅层与第二硅层之间的界面中的第一间隙与静态电极分开。

【技术实现步骤摘要】

本公开内容涉及微机电装置，并且更具体地，涉及在面内方向上电容性地检测或致动运动的微机电装置。

技术介绍

1、术语微机电系统(mems)在这里指的是使用半导体微加工技术制造的小型化元件。mems元件的机械尺寸通常在从低于一微米至几毫米的值的范围内。mems包括机械或机电元件，其被配置成响应于检测到的现象来实现机械功能。与检测相对应的信号可以借助于以下结构部来生成：动态地阻尼响应于检测到的现象可移动的部分的移动的结构或可移动部。

2、电容被广泛地用于mems以将感应到的运动转换成电信号或者将输入电压转换成感应到的运动。为了实现电容转换，可以通过中间的非导电部件将可移动的导电部件和静态导电部件电隔离。在将可移动部件和静态部件连接至不同的电势时，它们形成电容换能器，即电容器。静态导电部件和可移动导电部件通常被布置成具有相对的平坦表面，并且电容的变化与相对的表面的交叠面积的变化或相对的表面之间的距离的变化相关。

3、这两种换能模式可以使用平行板电容器来建模，其中，两个导电板通过电介质隔离并耦接至电压源v。平行板电容器的电容c为：

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【技术保护点】

1.一种MEMS结构，包括机械层，所述机械层平行于参考装置平面延伸；其中，

2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其中，所述静态电极和所述可移动电极的交叠与所述静态电极和所述可移动电极在所述参考装置平面上的投影相对应。

3.根据前述权利要求中任一项所述的MEMS结构，其中，所述可移动电极和所述静态电极包括一个或更多个梳齿，所述一个或更多个梳齿平行于所述参考平面延伸。

4.根据前述权利要求中任一项所述的MEMS结构，其中，

5.根据权利要求4所述的MEMS结构，其中，所述梁是四个梁的矩形框架的一部分，其中，所述矩形框架的一个梁支承第一电极梳组...

【技术特征摘要】

1.一种mems结构，包括机械层，所述机械层平行于参考装置平面延伸；其中，

2.根据权利要求1所述的mems结构，其中，所述静态电极和所述可移动电极的交叠与所述静态电极和所述可移动电极在所述参考装置平面上的投影相对应。

3.根据前述权利要求中任一项所述的mems结构，其中，所述可移动电极和所述静态电极包括一个或更多个梳齿，所述一个或更多个梳齿平行于所述参考平面延伸。

4.根据前述权利要求中任一项所述的mems结构，其中，

5.根据权利要求4所述的mems结构，其中，所述梁是四个梁的矩形框架的一部分，其中，所述矩形框架的一个梁支承第一电极梳组的可移动梳齿，并且所述矩形框架的相对梁支承第二电极梳组的可移动梳齿。

6.根据权利要求5所述的mems结构，其中，所述第一电极梳组的静态梳齿和所述第二电极梳组的静态梳齿分别耦接至电压源，并且通过所述第一间隙与相对的可移动梳齿分开，以形成用于差分检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：马蒂·柳库，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：