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本发明提供在隔着光掩模照射活性能量射线进行显影时配线图案的宽度接近光掩模的宽度的感光性糊剂。感光性糊剂包含无机粉末、光聚合性单体、碱溶性聚合物、和具有二苯硫醚基的肟酯系引发剂。...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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