下载包括多个存储器单元的三维非易失性存储器装置的技术资料

文档序号:42615986

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一种三维非易失性存储器装置包括:多个绝缘层,其在衬底上在基本上垂直于衬底的表面的竖直方向上堆叠;多个沟道层,其位于多个绝缘层之间,并且在平行于衬底的表面的第一水平方向上延伸,其中,多个沟道层包括第一金属元素;扩散停止层,其共形地形成在沿竖直...
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