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一种监测镀件表面金属镀层厚度的方法，该方法包括用Ｘ射线能谱仪采集镀件表面的能谱图，根据该能谱图中是否出现所述表面金属镀层不含有的元素的特征峰和入射电子束的条件，监测镀件表面金属镀层厚度。本发明利用扫描电子显微镜－Ｘ射线能谱仪的方法可以对微小...
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