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本发明提供了一种夹持装置及晶圆键合设备，所述夹持装置用于夹紧晶圆贴膜环，该夹持装置包括转盘和设于转盘上的至少一对夹持组件，夹持组件包括夹持部和固定块，夹持部和固定块以转盘的圆心为中心相对设置；夹持部包括夹爪和驱动部，驱动部与夹爪连接以驱动夹...
该专利属于拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司授权不得商用。

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