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一种折射投射镜头(PO)，其通过工作波长在超过280nm的紫外线范围中的电磁辐射将配置在投射镜头的物平面(OS)中的图案成像到投射镜头的像平面(IS)中，所述折射投射镜头包含多个透镜元件，这些透镜元件沿光轴(OA)配置在物平面(OS)和像平...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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