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本发明公开了基于实时数据仿真模型的设备清洗效果评估方法，涉及半导体设备清洗技术领域，通过对清洗项目中用于对设备零部件进行清洗的清洗介质的介质浓度进行检测，根据介质浓度的变化情况判断清洗项目完成时，设备零部件的清洗效果是否充分，并在设备零部件...
该专利属于江苏凯威特斯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏凯威特斯半导体科技有限公司授权不得商用。

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