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本发明涉及一种薄膜太阳能电池吸收层的制备方法，属于光电功能材料和新能源技术领域。其特征在于，采用真空磁控溅射法制备铜铟硒或铜铟镓硒或铜铟铝硒吸收层，直接使用铜铟硒或铜铟镓硒或铜铟铝硒合金靶材，由靶材成分控制吸收层成分，由溅射工艺控制成膜质量...该专利属于清华大学;张家港保税区华冠光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;张家港保税区华冠光电技术有限公司授权不得商用。