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一种Ga源自动化补充装置及控制方法制造方法及图纸
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文档序号:42504619
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本发明公开了一种Ga源自动化补充装置及控制方法,其中Ga源自动化补充装置中的第一导线的第一端与控制器电连接,第一导线的第二端始终浸没在高温熔体中;进液管的第一端与加液装置连通,进液管的第二端浸没在高温熔体内,并且,当高温熔体的液面下降时,进...
该专利属于北京大学东莞光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学东莞光电研究院授权不得商用。
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