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本申请实施例涉及半导体激光器技术领域，特别涉及一种液晶偏振调谐面发射半导体激光器阵列及其制备方法，该半导体激光器包括：激光器VCSEL阵列以及位于激光器VCSEL阵列上方的中间层和上盖层；激光器VCSEL阵列包括间隔排列的液晶取向下层；中间...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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