下载半导体结构的制备方法及半导体结构的技术资料

文档序号:42497734

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本公开实施例涉及一种半导体结构的制备方法及半导体结构,半导体结构的制备方法包括:提供衬底,所述衬底具有阵列排布的有源区以及所述有源区之间的隔离结构;在所述衬底上形成位线接触结构,所述位线接触结构至少覆盖所述有源区的部分顶面,所述位线接触结构...
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