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本发明提供一种晶圆输送装置及半导体设备，涉及半导体技术领域。该晶圆输送装置包括输送装置本体、设于输送装置本体上的推动组件以及连接于推动组件的驱动组件，其中，输送装置本体内设有用于与气源连接的输气腔，输送装置本体的顶面设有多个支撑结构以及与输...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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