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本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种上电极升降装置及半导体工艺腔室。上电极升降装置包括第一手动切换阀、第一流体管路、第二流体管路和伸缩缸；伸缩缸具有第一流通口和第二流通口，第一流体管路的两端分别与第一手动切换阀和第一流通口相连通，第二流体...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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