上电极升降装置及半导体工艺腔室制造方法及图纸

本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种上电极升降装置及半导体工艺腔室。上电极升降装置包括第一手动切换阀、第一流体管路、第二流体管路和伸缩缸；伸缩缸具有第一流通口和第二流通口，第一流体管路的两端分别与第一手动切换阀和第一流通口相连通，第二流体管路的两端分别与第一手动切换阀和第二流通口相连通；第一手动切换阀具有第一位置和第二位置，在第一手动切换阀位于第一位置的情况下，第一流通口为流体入口，伸缩缸可带动上电极组件下降；在第一手动切换阀位于第二位置的情况下，第一流通口为流体出口，伸缩缸可带动上电极组件上升。本申请能够解决电控式升降系统的升降精度较低，在装配机台的过程中无法提升、下降上电极组件的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于半导体，具体涉及一种上电极升降装置及半导体工艺腔室。

技术介绍

1、电容耦合等离子体刻蚀机可通过上、下电极电离工艺气体，从而生成等离子体来轰击晶圆表面，完成刻蚀。电容耦合等离子体刻蚀机的上电极及工艺腔室中的零件在工艺进行一段时间后，需要开腔进行维护，开腔维护需先将上电极组件升起，打开工艺腔室，再对工艺腔室内的零部件进行维护。

2、目前多采用电控式升降系统提升或者下降上电极，电控式升降系统包括电机、同步带组件、丝杆和用于与上电极组件相连的连接组件，电机的输出轴与同步带组件的第一带轮相连，丝杆与同步带组件的第二带轮相连，连接组件与丝杆配合。在同步带组件的作用下，第二带轮可跟随电机的输出轴旋转，第二带轮可带动丝杆旋转，连接组件在丝杆的作用下可沿丝杆的轴线方向移动，从而实现上电极组件的升降。

3、然而，电控式升降系统的动力从电机的输出端传导到连接组件的过程中，需要经过同步带组件、丝杆等多个传动机构，而各传动机构存在加工公差，这会导致上电极组件的升降精度较低。此外，由于电机在供电的情况下才可使用，出于安全考虑，在装配电容耦合等离子体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种上电极升降装置，其特征在于，包括第一手动切换阀(100)、第一流体管路(200)、第二流体管路(300)和伸缩缸(400)，所述伸缩缸(400)用于连接上电极组件(820)；

2.根据权利要求1所述的上电极升降装置，其特征在于，所述上电极升降装置还包括第二手动切换阀(500)，所述第二手动切换阀(500)位于所述第一手动切换阀(100)的上游，所述第一手动切换阀(100)与所述第二手动切换阀(500)可通断地相连通。

3.根据权利要求2所述的上电极升降装置，其特征在于，所述第一手动切换阀(100)包括第一手动阀(110)和第二手动阀(120)，所述第一手动...

【技术特征摘要】

1.一种上电极升降装置，其特征在于，包括第一手动切换阀(100)、第一流体管路(200)、第二流体管路(300)和伸缩缸(400)，所述伸缩缸(400)用于连接上电极组件(820)；

2.根据权利要求1所述的上电极升降装置，其特征在于，所述上电极升降装置还包括第二手动切换阀(500)，所述第二手动切换阀(500)位于所述第一手动切换阀(100)的上游，所述第一手动切换阀(100)与所述第二手动切换阀(500)可通断地相连通。

3.根据权利要求2所述的上电极升降装置，其特征在于，所述第一手动切换阀(100)包括第一手动阀(110)和第二手动阀(120)，所述第一手动阀(110)具有第一介质口(111)、第二介质口(112)和第三介质口(113)，所述第二手动阀(120)具有可通断地相连通的第四介质口(121)和第五介质口(122)，所述第三介质口(113)与所述第四介质口(121)相连通，所述第一流体管路(200)的第一端可与所述第五介质口(122)相连通，所述第二流体管路(300)的第一端可与所述第二介质口(112)相连通；

4.根据权利要求1所述的上电极升降装置，其特征在于，所述第一流体管路(200)上设有第一控制阀(210)，所述第一控制阀(210)具有第一先导口(211)，以及可通断地相连通的第一连通口(212)和第二连通口(213)，在所述第一先导口(211)通入第一预设压力的第一先导流体的情况下，所述第一连通口(212)与所述第二连通口(213)相连通。

5.根据权利要求4所述的上电极升降装置，其特征在于，所述上电极升降装置还包括旁通管路(600)，所述旁通管路(600)的第一端与所述第一流体管路(200)相连通，所述旁通管路(600)的第一端位于所述第一手动切换阀(100)与所述第一控制阀(210)之间，所述旁通管路(600)的第二端与所述第二流体管路(300)相连通，所述旁通管路(600)上设有梭阀(610)，所述梭阀(610)具有先导流体出口(611)，所述先导流体出口(611)与所述第一先导口(211)相连通。

6.根据权利要求5所述的上电极升降装置，其特征在于，所述第二流体管路(300)上设有先导单向阀(310)，所述先导单向阀(310)具有第二先导口(311)，在所述第二先导口(311)未通入第二预设压力的第二先导流体的情况下，所述先导单向阀(310)在所述第一手动切换阀(100)向所述伸缩缸(400)延伸的方向上导通；在所述第二先导口(311)通入所述第二预设压力的第二先导流体的情况下，所述先导单向阀(310)在所述伸缩缸(400)向所述第一手动切换阀(100)延伸的方向上导通。

7.根据权利要求6所述的上电极升降装置，其特征在于，所述上电极升降装置还包括第一控制管路(710)，所述第一控制管路(710)的第一端与所述第一流体管路(200)相连通，所述第一控制管路(710)的第二端与所述第二先导口(311)相连通，所述第一控制管路(710)的第一端位于所述第一控制阀(210)与所述旁通管路(600)的第一端之间。

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【专利技术属性】
技术研发人员：郭琪瑶，马恩泽，王艳，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：