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本发明公开了一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置及方法，所述装置包括检测模块、计算机控制系统、移动平台以及圆弧轨道；所述的检测模块包括激光器、偏振片、偏振分光镜、格兰镜、光电检测器和检测支架。本发明将圆弧导轨直接安装于半球谐振子加工...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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