【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及无损检测领域，具体为一种偏振激光散射检测熔石英半球谐振子亚表面损伤的装置及方法。
技术介绍
1、半球谐振子是高精度半球谐振陀螺的核心部件，因其具有精度高、结构简单、功耗低、可靠性高等优点，被广泛应用于航空航天、海洋工程、国防军事、通信卫星等关键领域。半球谐振子的亚表面损伤会影响其表面状态，进而影响其机械品质因数，因此对半球谐振子的亚表面损伤进行检测亟需一种高效的方法。因其结构特性与应用场景，常规的有损检测方法及部分无损检测方法无法应用于半球谐振子亚表面损伤的检测。
2、国内目前研制的半球谐振子材质为熔融石英晶体，对熔融石英晶体亚表面损伤层进行检测的方法主要分为有损检测和无损检测两大类。常用的有损检测方法如截面显微法、磁流变抛光法等，检测方法易操作、检测装置构造简单，但其为破坏性检测过程，检测前会引入附加损伤，使得亚表面损伤层产生拓展，造成检测到的亚表面损伤层深度大于原有损伤深度，给检测结果带来较大的误差；如一种基于小斑点磁流变抛光的小型曲面类零件亚表面损伤检测方法(申请公布号：cn 1168105202a)，其...
【技术保护点】
1.一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置，其特征在于：包括检测模块(17)、计算机控制系统、移动平台(8)以及圆弧轨道(9)；
2.根据权利要求1所述的一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置，其特征在于：所述的计算机控制系统包括数据采集卡(10)、上位机(11)和运动控制器(12)，所述的数据采集卡(10)将光电检测器(7)接收到的电信号转化为数字信号，并将数字信号传送到上位机(11)；所述的上位机(11)对数字信号进行分析处理得到半球谐振子(5)亚表面损伤层损伤信号分布情况；所述的运动控制器(12)接受上位机(11)的指令，控制移动平台(8...
【技术特征摘要】
1.一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置，其特征在于：包括检测模块(17)、计算机控制系统、移动平台(8)以及圆弧轨道(9)；
2.根据权利要求1所述的一种熔石英半球谐振子亚表面损伤信号的检测装置，其特征在于：所述的计算机控制系统包括数据采集卡(10)、上位机(11)和运动控制器(12)，所述的数据采集卡(10)将光电检测器(7)接收到的电信号转化为数字信号，并将数字信号传送到上位机(11)；所述的上位机(11)对数字信号进行分析处理得到半球谐振子(5)亚表面损伤层损伤信号分布情况；所述的运动控制器(12)接受上位机(11)的指令，控制移动平台(8)在圆弧导轨上绕半球谐振子(5)圆心作圆周运动。
3.根据权利要求1所述的一种熔石英半球谐振子亚表...
【专利技术属性】
技术研发人员：白倩，何传欣，刘晨曦，郑立丹，陆天玮，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：
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