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根据一方面，提供了一种EUV防护膜，其包括：防护膜框架；以及防护膜隔膜，该防护膜隔膜安装在该防护膜框架上并且包括CNT束的膜，其中，在该膜的任意2μm×2μm区域内：每束的CNT平均数量为至少5，平均束直径在6至16nm的范围内，平均面密度...
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