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本申请公开了一种点火装置、半导体工艺设备及工艺方法，点火装置包括至少两个点火腔室和汇合管道；每个所述点火腔室均包括腔室本体，以及与所述腔室本体连接的出气管道和至少两个进气管道；所述进气管道用于向对应的所述腔室本体通入反应气体；所述腔室本体用...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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