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集成电路器件制造技术
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文档序号:42470704
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一种集成电路器件可以包括:鳍型有源结构,在第一水平方向上伸长;纳米片堆叠,包括鳍型有源结构上的纳米片;栅极结构,在纳米片之间延伸;鳍型有源结构上的源/漏结构,位于与栅极结构相邻的位置处,并且在第一水平方向上面向纳米片堆叠;竖直分离层,包括与...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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